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当社では低コストでありながらクオリティの高い装置提供に努めております。
また将来性を視野に入れ、スピーディーかつハイレベル洗浄の為のより良い
技術提案からサポートまで徹底して行っております。中古装置の改造もお
受けいたします。その他搬送機･測定器等も取り扱っておりますのでお気軽
にお問合せ下さい。  こちら |
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 搬入一例 |
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ピッチ変換 |
10mm⇒7mm 10mm⇒5mm対応 |
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FOUP/FOSB対応 |
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引上げ乾燥対応 |
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減圧乾燥により装置内で完全乾燥 |
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| 仕様一例 |
下記は一例です。 *機密保護のため、詳細情報は控えさせて頂いております。
当社ではお客様の製造プロセスにあわせたご要望をお聞きし、さらに高い洗浄効果が望める技術や製品があれば積極的に
ご提案させていただきます。そしてお客様との信頼関係を築いていくと共に、搬入後も技術協助及び新規開発に努めます。
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| 最終洗浄装置 〈300mm〉 |
| Bath No. |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
13 |
| Bath Name |
Ozone |
Rinse |
SC-1#1 |
Rinse |
SC-1#2 |
Rinse |
Rinse |
SC-2 |
Rinse |
Rinse |
Rinse |
Hot DIW
+Lifter |
IR Lamp |
| Chemical |
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MixingRatio
ProcessTemp
(℃) |
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| Filter(μm) |
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| Quartz Material |
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| Sonic |
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Ciculation
(LPM) |
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*Cassetteless50枚処理
*薬液槽：合成石英使用
*純水引上乾燥
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| 最終洗浄装置 〈200mm〉 |
| Bath No. |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
| Bath Name |
CA |
Rinse |
SC-1 |
Rinse |
Rinse |
SC-2 |
Rinse |
Rinse |
Rinse |
IPA |
| Chemical |
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MixingRatio
ProcessTemp
(℃) |
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| Filter(μm) |
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| Quartz Material |
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| Sonic |
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Ciculation
(LPM) |
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*Cassetteless25枚処理
*薬液槽：石英使用
*IPA乾燥
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装置の改造・アップグレード
| 装置の改造・アップグレード
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当社では装置の改造・アップグレードも承っております。よりクオリティの高い洗浄(スループット、パーティクル等）
の為に新技術の導入は不可欠です。しかし新しい装置の導入には膨大な費用がかかります。テクノトレーディ
ングではそのような視点から円滑な洗浄をフォローし、お客様の装置の長期稼動をサポート致します。
簡単なものから大掛かりなものまで幅広く対応いたします。お気軽にご相談下さい。
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| 実績一例 |
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| >>石英槽 ⇒ 合成石英槽 |
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| >>IPA乾燥装置 ⇒ 純水引上乾燥装置 |
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